Таг: kapatsitet

Истражување на EPFL покажува дека плазмата од кислород може да ги отстрани јаглеродните остатоци од молекуларните слоеви на силициумот, без значително губење на фосфорот. Методот овозможува попрецизна контрола на допирањето во близина на површината.